Главное меню

Учредитель журнала

ФГБОУ ВПО Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"

Свидетельство о регистрации ПИ № ФС77-31574 от 4 апреля 2008 г. выдано Федеральной службой по надзору за соблюдением законодательства в сфере массовых коммуникаций и охране культурного наследия

127055, г. Москва, Вадковский пер., д.1

Тел.: (499) 972-95-30,
e-mail: vestnik@stankin.ru

ISSN 2072-3172

4(51), 2019. ТЕХНОЛОГИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКОЙ И ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

А.С. Метель, Э.С. Мустафаев, Х.А. Нэй

Нагрев инструмента пучком быстрых атомов, формируемым погруженной в плазму сеткой

Разработана теоретическая модель формирования пучка быстрых атомов газа погруженной в плазму сеткой под отрицательным потенциалом U ~ 5 кВ. Показано, что энергия атомов распределена непрерывно от нуля до максимума eU, достигаемого при таком давлении газа pо ~ 1 Па, когда длина перезарядки ионов c равна удвоенной ширине 2d слоев объемного заряда у поверхности сетки. С ростом давления p длина c и максимальная энергия атомов уменьшаются в p/pо раз, а плотность потока атомов во столько же раз возрастает. При замене плоской сетки на сетку с вогнутой поверхностью перпендикулярные поверхности сетки траектории ионов и быстрых атомов сходятся на поверхности азотируемого инструмента, что позволяет заметно повысить температуру его нагрева.

Ключевые слова: азотирование, инструмент, плазма, нагрев, пучок, быстрые атомы.

[ Вернуться к содержанию ]
[ Получить статью ]